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Principles of Plasma Discharges and Materials Processing - Lieberman, M. A. Lichtenberg, Allan J.
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Principles of Plasma Discharges and Materials Processing - gebunden oder broschiert

1994, ISBN: 9780471005773

John Wiley & Sons Inc, Gebundene Ausgabe, 600 Seiten, Publiziert: 1994-12-01T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, 0.94 kg, Einkauf, Produktion & Logistik, Management, Business & Karriere, Kate… Mehr…

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1994, ISBN: 9780471005773

John Wiley & Sons Inc, Gebundene Ausgabe, 600 Seiten, Publiziert: 1994-12-01T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, 0.94 kg, Einkauf, Produktion & Logistik, Management, Business & Karriere, Kate… Mehr…

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1994

ISBN: 9780471005773

John Wiley & Sons Inc, Gebundene Ausgabe, 600 Seiten, Publiziert: 1994-12-01T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, 2.06 kg, Einkauf, Produktion & Logistik, Management, Business & Karriere, Kate… Mehr…

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1994, ISBN: 9780471005773

John Wiley & Sons Inc, Gebundene Ausgabe, 600 Seiten, Publiziert: 1994-12-01T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, 2.06 kg, Einkauf, Produktion & Logistik, Management, Business & Karriere, Kate… Mehr…

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1994, ISBN: 9780471005773

[PU: John Wiley & Sons Inc], 600 S. Gebundene Ausgabe, Maße: 16.4 cm x 3.73 cm x 24.35 cm Gepflegter, sauberer Zustand. AuÃ?en: verschmutzt, angestoÃ?en. Innen: Seiten eingerissen. 137908… Mehr…

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Bibliographische Daten des bestpassenden Buches

Details zum Buch
Principles of Plasma Discharges and Materials Processing
Autor:
Titel:
ISBN-Nummer:

0471005770


Timely, authoritative, pedagogically consistent— a valuable professional resource and a superior didactic tool. Authored by two internationally respected pioneers in the field, this book offers a fully integrated, pedagogically consistent presentation of the fundamental physics and chemistry of partially ionized, chemically reactive, low-pressure plasmas and their roles in a wide range of plasma discharges and processes used in thin film processing applications—especially in the fabrication of integrated circuits. With many fully worked examples, practice exercises, and clear demonstrations of the relationship of plasma parameters to external control parameters and processing results, this book combines the best qualities of a student text and a professional resource. In-depth coverage of the fundamentals of plasma physics and chemistry—includes separate chapters on atomic and molecular collisions Applies basic theory to plasma discharges, including calculations of plasma parameters and scaling of plasma parameters with control parameters Applies results to basic processing mechanisms and the effects of plasma parameters on those mechanisms Uses numerous worked examples to demonstrate the relationships between control parameters, plasma parameters, and processing result

Detailangaben zum Buch - Principles of Plasma Discharges and Materials Processing


EAN (ISBN-13): 9780471005773
ISBN (ISBN-10): 0471005770
Gebundene Ausgabe
Erscheinungsjahr: 1994
Herausgeber: John Wiley & Sons Inc

Buch in der Datenbank seit 2007-07-11T10:37:45+02:00 (Berlin)
Detailseite zuletzt geändert am 2024-04-26T04:49:12+02:00 (Berlin)
ISBN/EAN: 0471005770

ISBN - alternative Schreibweisen:
0-471-00577-0, 978-0-471-00577-3
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: lichtenberg lieberman, allan
Titel des Buches: principles plasma discharges and materials processing

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