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Lithography Process Control (Tutorial Texts in Optical Engineering) - Harry J. Levinson
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Harry J. Levinson:

Lithography Process Control (Tutorial Texts in Optical Engineering) - Taschenbuch

ISBN: 0819430528

[SR: 262099], Taschenbuch, [EAN: 9780819430526], SPIE Press, SPIE Press, Book, [PU: SPIE Press], SPIE Press, 60537011, Halbleiter, 60516011, Elektrotechnik, 60448011, Ingenieurwesen & Tec… Mehr…

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[SR: 262099], Taschenbuch, [EAN: 9780819430526], SPIE Press, SPIE Press, Book, [PU: SPIE Press], SPIE Press, 60537011, Halbleiter, 60516011, Elektrotechnik, 60448011, Ingenieurwesen & Tec… Mehr…

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Levinson, Harry J.:
Lithography Process Control (Tutorial Texts in Optical Engineering, Band 28) - Taschenbuch

1999

ISBN: 9780819430526

SPIE Press, Taschenbuch, 190 Seiten, Publiziert: 1999-05-31T00:00:01Z, Produktgruppe: Book, 0.99 kg, Verkaufsrang: 6807, Ausrüstung, Techniken & Referenz, Fotografie, Film, Kunst & Kultur… Mehr…

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Lithography Process Control - Taschenbuch

1999, ISBN: 9780819430526

Buch, Softcover, [PU: SPIE Press], SPIE Press, 1999

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Lithography Process Control - Taschenbuch

1999, ISBN: 9780819430526

Softcover, Buch, [PU: SPIE Press]

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Bibliographische Daten des bestpassenden Buches

Details zum Buch
Lithography Process Control
Autor:
Titel:
ISBN-Nummer:

0819430528


Covers lithography process control at several levels, from fundamental through advanced topics. Self-contained tutorial works both as an introduction to the technology and as a reference for the experienced lithographer. Reviews the foundations of statistical process control as background for advanced topics such as complex processes and feedback.

Contents

- Preface
- Introduction to the use of statistical process control in lithography
- Sampling
- Simple and complex processes
- Linewidth control
- Overlay
- Yield
- Process drift and automatic process control
- Metrology
- Control of operations

Detailangaben zum Buch - Lithography Process Control


EAN (ISBN-13): 9780819430526
ISBN (ISBN-10): 0819430528
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 1999
Herausgeber: SPIE Press

Buch in der Datenbank seit 2007-06-27T18:51:28+02:00 (Berlin)
Detailseite zuletzt geändert am 2022-07-05T11:45:24+02:00 (Berlin)
ISBN/EAN: 0819430528

ISBN - alternative Schreibweisen:
0-8194-3052-8, 978-0-8194-3052-6
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: levin harry
Titel des Buches: lithography, engineering control, spie vol

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