Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography (SPIE Press Monograph Vol. PM189) - gebunden oder broschiert
ISBN: 0819475572
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2009, ISBN: 9780819475572
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Yayi Wei, Robert L. Brainard:
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2009, ISBN: 9780819475572
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Bibliographische Daten des bestpassenden Buches
Autor: | |
Titel: | |
ISBN-Nummer: |
Contents
- Immersion Lithography and its Challenges
- Process Steps in the Track
- Resist Leaching and Water Uptake
- Contact Angle of Water on Resist Stacks
- Topcoat and Resist for Immersion Lithography
- Immersion Defects and Defect Reduction Strategies
- Antireflection Coatings and Underlayer Technology
- Resist Shrink and Trim Processes
- Double Exposures and Double Patterning
- Line-edge Roughness of Resist Patterns
- Extendibility of 193-nm Immersion Lithography (193i+)
Detailangaben zum Buch - Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography (SPIE Press Monograph Vol. PM189)
EAN (ISBN-13): 9780819475572
ISBN (ISBN-10): 0819475572
Gebundene Ausgabe
Erscheinungsjahr: 2009
Herausgeber: SPIE Press
Buch in der Datenbank seit 2009-12-07T19:54:17+01:00 (Berlin)
Detailseite zuletzt geändert am 2020-08-24T14:22:29+02:00 (Berlin)
ISBN/EAN: 9780819475572
ISBN - alternative Schreibweisen:
0-8194-7557-2, 978-0-8194-7557-2
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: brainard, wei
Titel des Buches: 189, 193, spie vol
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