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Fundamental Principles of Optical Lithography - gebunden oder broschiert

ISBN: 9780470018934

Hardback, [PU: John Wiley & Sons Inc], Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication presents a complete theoretical and practical treatment of the topic… Mehr…

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Fundamental Principles of Optical Lithography - Erstausgabe

2007, ISBN: 9780470018934

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[ED: Gebunden], [PU: John Wiley & Sons], The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In ge… Mehr…

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Fundamental Principles of Optical Lithography - Erstausgabe

2007

ISBN: 9780470018934

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[ED: Gebunden], The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these p, DE, [SC: … Mehr…

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2007, ISBN: 9780470018934

The Science of Microfabrication, Buch, Hardcover, [PU: John Wiley & Sons Inc], John Wiley & Sons Inc, 2007

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Fundamental Principles of Optical Lithography, The Science of Microfabrication - gebunden oder broschiert

2007, ISBN: 9780470018934

England: Wiley, 2007. No markings.. First Edition. Hard Cover. Fine., Wiley, 2007, 5

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Details zum Buch
Fundamental Principles of Optical Lithography

The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both conductors and insulators are used to connect and isolate transistors and their components. By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate. This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter.

Detailangaben zum Buch - Fundamental Principles of Optical Lithography


EAN (ISBN-13): 9780470018934
ISBN (ISBN-10): 0470018933
Gebundene Ausgabe
Erscheinungsjahr: 2008
Herausgeber: John Wiley & Sons Inc
515 Seiten
Gewicht: 1,170 kg
Sprache: eng/Englisch

Buch in der Datenbank seit 2007-11-29T12:17:24+01:00 (Berlin)
Detailseite zuletzt geändert am 2022-12-26T17:28:39+01:00 (Berlin)
ISBN/EAN: 9780470018934

ISBN - alternative Schreibweisen:
0-470-01893-3, 978-0-470-01893-4
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: mack, chris
Titel des Buches: les lithography, optical science, fundamental principles


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