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Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen: Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik - Franz, Gerhard
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Franz, Gerhard:

Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen: Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik - gebunden oder broschiert

1994, ISBN: 9783540573609

Springer, Gebundene Ausgabe, Auflage: 2., völlig neubearb. 445 Seiten, Publiziert: 1994-02-18T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, 1.72 kg, Maschinenbau, Ingenieurwissenschaften, Fachbücher, K… Mehr…

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Franz, Gerhard:

Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik - gebunden oder broschiert

1994, ISBN: 3540573607

[EAN: 9783540573609], Gebraucht, sehr guter Zustand, [PU: Springer Berlin], PRODUKTION,ENTWICKLUNG,PLASMAPROZESS,MIKROELEKTRONIK,MIKROTECHNOLOGIE,PLASMAPHYSIK,PLASMAT,MIKROMETER,HALBLEITE… Mehr…

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Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik - gebrauchtes Buch

1994

ISBN: 9783540573609

[PU: Springer Berlin], Gebrauchs- und Lagerspuren. 2. Auflage. Aus der Auflösung einer renommierten Bibliothek. Kann Stempel beinhalten. 297502/203, DE, [SC: 0.00], gebraucht; gut, gewer… Mehr…

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Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik 2., vollst. neubearb. Aufl. - gebunden oder broschiert

1994, ISBN: 9783540573609

2., vollst. neubearb. Aufl. 434 Seiten Hardcover Ehemaliges Bibliotheksexemplar mit Signatur und Stempel. Moderate Gebrauchsspuren, guter Zustand. 9783540573609 Versand D: 5,00 EUR Glimme… Mehr…

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Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik - gebunden oder broschiert

1994, ISBN: 3540573607

2., vollst. neubearb. Aufl. Hardcover 434 Seiten Gebundene Ausgabe Ehemaliges Bibliotheksexemplar mit Signatur und Stempel. Moderate Gebrauchsspuren, guter Zustand. 9783540573609 Glimmen… Mehr…

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Details zum Buch
Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen: Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik
Autor:
Titel:
ISBN-Nummer:

3540573607


In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen; schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der beiden modernen Verfahren Sputtern und Trockenätzen, mit denen heute Oberflächen durch Beschichten und gezieltes Abtragen auf vielfältige Weise modifiziert werden. Besondere Aufmerksamkeit wird reaktiven Verfahren und den dort auftretenden Reaktionsmechanismen, aber auch der Ionenstrahlmethode, gewidmet. Zahlreiche Anwendungsbeispiele sind in den Text eingestreut. Für die Neuauflage wurde das Buch vollständig neu bearbeitet und aktualisiert. Hinzu kamen neue Kapitel über Plasmadiagnostik und hochdichte sowie induktiv-gekoppelte Plasmen.

Detailangaben zum Buch - Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen: Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik


EAN (ISBN-13): 9783540573609
ISBN (ISBN-10): 3540573607
Gebundene Ausgabe
Erscheinungsjahr: 1994
Herausgeber: Springer

Buch in der Datenbank seit 2008-05-31T12:11:55+02:00 (Berlin)
Detailseite zuletzt geändert am 2023-09-06T13:32:14+02:00 (Berlin)
ISBN/EAN: 3540573607

ISBN - alternative Schreibweisen:
3-540-57360-7, 978-3-540-57360-9
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: gerhard franz
Titel des Buches: oberflächentechnologie mit niederdruckplasmen beschichten und strukturieren der mikrotechnik

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