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Principles of Plasma Discharges and Materials Processing 2e
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Principles of Plasma Discharges and Materials Processing 2e - neues Buch

ISBN: 9780471720010

A Thorough Update of the Industry Classic on Principles of Plasma Processing The first edition of Principles of Plasma Discharges and Materials Processing, published over a decade ago, w… Mehr…

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Lieberman, Michael A. Lichtenberg, Alan J.:

Principles of Plasma Discharges and Materials Processing - gebunden oder broschiert

2005, ISBN: 9780471720010

Wiley-Interscience, Gebundene Ausgabe, Auflage: 2. 800 Seiten, Publiziert: 2005-05-13T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, Hersteller-Nr.: Illustrated, 2.64 kg, Verkaufsrang: 840184, Chemie, N… Mehr…

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*Plasma 2e* / gebundene Ausgabe für 217.49 € / Aus dem Bereich: Bücher, Wissenschaft, Physik Medien > Bücher nein Buch (gebunden) Hardcover;Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Techn… Mehr…

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Principles of Plasma Discharges and Materials Processing Hardcover New Books, Wiley-Interscience

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Details zum Buch
Principles of Plasma Discharges and Materials Processing
Autor:
Titel:
ISBN-Nummer:

0471720011


A Thorough Update of the Industry Classic on Principles of Plasma Processing The first edition of Principles of Plasma Discharges and Materials Processing, published over a decade ago, was lauded for its complete treatment of both basic plasma physics and industrial plasma processing, quickly becoming the primary reference for students and professionals. The Second Edition has been carefully updated and revised to reflect recent developments in the field and to further clarify the presentation of basic principles. Along with in-depth coverage of the fundamentals of plasma physics and chemistry, the authors apply basic theory to plasma discharges, including calculations of plasma parameters and the scaling of plasma parameters with control parameters. New and expanded topics include: * Updated cross sections * Diffusion and diffusion solutions * Generalized Bohm criteria * Expanded treatment of dc sheaths * Langmuir probes in time-varying fields * Electronegative discharges * Pulsed power discharges * Dual frequency discharges * High-density rf sheaths and ion energy distributions * Hysteresis and instabilities * Helicon discharges * Hollow cathode discharges * Ionized physical vapor deposition * Differential substrate charging With new chapters on dusty plasmas and the kinetic theory of discharges, graduate students and researchers in the field of plasma processing should find this new edition more valuable than ever.

Detailangaben zum Buch - Principles of Plasma Discharges and Materials Processing


EAN (ISBN-13): 9780471720010
ISBN (ISBN-10): 0471720011
Gebundene Ausgabe
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2005
Herausgeber: Wiley-Interscience
800 Seiten
Gewicht: 1,184 kg
Sprache: eng/Englisch

Buch in der Datenbank seit 2007-06-03T13:25:44+02:00 (Berlin)
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ISBN/EAN: 0471720011

ISBN - alternative Schreibweisen:
0-471-72001-1, 978-0-471-72001-0
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: lieberman, lichtenberg, allan, alan licht, michael bohm
Titel des Buches: principles plasma discharges and materials processing, lichtenberg england

Daten vom Verlag:

Autor/in: Michael A. Lieberman; Alan J. Lichtenberg
Titel: Principles of Plasma Discharges and Materials Processing
Verlag: John Wiley & Sons
800 Seiten
Erscheinungsjahr: 2005-05-13
Gewicht: 1,270 kg
Sprache: Englisch
199,00 € (DE)
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173mm x 241mm x 47mm

BB; Hardcover, Softcover / Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik; Elektronische Geräte und Materialien; Atom- u. Molekülphysik; Atomic and Molecular Physics; Electrical & Electronics Engineering; Electronic Materials; Elektronische Materialien; Elektrotechnik u. Elektronik; Materials Science; Materials Science Special Topics; Materialwissenschaften; Physics; Physik; Plasmaphysik; Spezialthemen Materialwissenschaften; Elektronische Materialien; Spezialthemen Materialwissenschaften; Atom- u. Molekülphysik

1. Introduction. 2. Basic Plasma Equations and Equilibrium. 3. Atomic Collisions. 4. Plasma Dynamics. 5. Diffusion and Transport. 6. DC Sheaths. 7. Chemical Reactions and Equilibrium. 8. Molecular Collisions. 9. Chemical Kinetics and Surface Processes. 10. Particle and Energy Balance in Discharges. 11. Capacitive Discharges. 12. Inductive Discharges. 13. Wave-Heated Discharges. 14. DC Discharges. 15. Etching. 16. Deposition and Implantation. 17. Dusty Plasmas. 18. Kinetic Theory of Discharges. Appendix A: Collision Dynamics. Appendix B: The Collision Integral. Appendix C: Diffusion Solutions for Variable Mobility Model.

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